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碳納米管生長設備（碳納米管制備系統，碳納米管生長系統），可用于制備碳納米管，包括垂直方向碳納米管生長；在Si、石英、陶瓷、各種金屬（不銹鋼，Ti和Pt等）等多種基底上用廉價的酒精、汽油或者生物燃料等作為碳源生長碳納米管；系統封閉腔體不但提供了一定的真空度，而且還可對基底進行加熱。

碳納米管CVD制備系統用于制備納米碳材料，如碳納米管粉、碳納米管薄膜和定向碳納米管制備；采用封閉式管式爐，石英反應管直徑50mm/70mm~110mm*1000mm，基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；氣源包括氫氣、氮氣、甲烷、酒精等；